雖然光波色散型（ED-XRF）X射線熒光光譜儀與能量色散型（ED-XRF）X射線熒光光譜儀同屬于X射線熒光分析儀，它產(chǎn)生信號(hào)的方法相同，zui后得到的波譜也極為相似，單由于采集數(shù)據(jù)的方式不同，WD-XRF（波譜）與WD-XRF(能譜)在原理和儀器結(jié)構(gòu)上有所不同，功能也有區(qū)別。  

一、原理區(qū)別  

    X射線熒光光譜法，是用X射線管發(fā)出的初級(jí)線束輻照樣品，激發(fā)各化學(xué)元素發(fā) 出二次譜線（X-熒光）。波長(zhǎng)色散型熒光光儀（WD-XRF）是用分光近體將熒光光束色散后，測(cè)定各種元素的特征X射線波長(zhǎng)和強(qiáng)度，從而測(cè)定各種元素的含量。而能量色散型熒光光儀（ED-XRF）是借組高分辨率敏感半導(dǎo)體檢查儀器與多道分析器將未色散的X射線熒光按光子能量分離X色線光譜線，根據(jù)各元素能量的高低來(lái)測(cè)定各元素的量，由于原理的不同，故儀器結(jié)構(gòu)也不同。  

二、結(jié)構(gòu)區(qū)別

    波長(zhǎng)色散型熒光光譜儀（WD-XRF），一般由光源（X-射線管），樣品室，分光晶體和檢測(cè)系統(tǒng)等組成。為了準(zhǔn)且測(cè)量衍射光束與入射光束的夾角，分光晶體系安裝在一個(gè)精密的測(cè)角儀上，還需要一龐大而精密并復(fù)雜的機(jī)械運(yùn)動(dòng)裝置。由于晶體的衍射，造成強(qiáng)度的損失，要求作為光源的X射線管的功率要打，一般為2-3千瓦，單X射線管的效率極低，只有1%的功率轉(zhuǎn)化為X射線輻射功率，大部分電能均轉(zhuǎn)化為而能產(chǎn)生高溫，所以X射線管需要專(zhuān)門(mén)的冷卻裝置（水冷或油冷），因此波譜儀的價(jià)格往往比能譜儀高。  能量色散型熒光光譜儀（DE-XRF），一般由光源（X-線管），樣品室何檢測(cè)系統(tǒng)等組成，與波長(zhǎng)色散型熒光光儀的區(qū)別在于他不分光晶體。

三、功能區(qū)別  

    考慮到各種情況，能量色散型熒光儀和波長(zhǎng)色散型熒光儀的檢測(cè)限基本相同。但在（高能光子）范圍內(nèi)能量色散的分辨率好些，在長(zhǎng)波（低能光子）范圍內(nèi)，波長(zhǎng)色散的分辨率好些。就定性分析而言，在分析多種元素時(shí)能量色散優(yōu)于單道晶體譜儀。就測(cè)量個(gè)別分析元素而言，波長(zhǎng)色散好些。如果分析的元素事先不知道，用能量色散較好，而分析元素已知?jiǎng)t用多道晶體色散儀好。對(duì)易受放射性損傷的樣品，如果液體，有機(jī)物（可能發(fā)生輻射分解），玻璃品，工藝品（可能發(fā)生褪色）等，用能量色散型熒光散型熒光儀分析特別有利。能量色散型熒光儀很適合動(dòng)態(tài)系統(tǒng)的研究。如在催化，腐蝕，老化，磨損，改性和能量轉(zhuǎn)換等與表面化學(xué)過(guò)程有關(guān)的研究。  總之，能量色散型熒光和波長(zhǎng)色散型熒光折兩種儀器，各有所有點(diǎn)和不足，它們只能互補(bǔ)，而不能替代。